[헤럴드경제=증권팀] 로체시스템즈는 퍼지 모듈 지그 및 이를 포함한 퍼지 모듈에 관한 특허권을취득했다고20일 공시했다.

회사측은 “반도체 웨이퍼들이 패킹된 웨이퍼 카세트 내에 가스를 이용하여 퍼지하는 퍼지 모듈 지그 및 이를 포함한 퍼지 모듈에 관한 것”이라고 설명했다.

이어 “반도체 이송장비에 적용할 예정”이라고 밝혔다.

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